精密陶瓷制造商
氮化鋁陶瓷、macor、氧化鋁陶瓷生產(chǎn)加工企業(yè)
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13412856568搜索關(guān)鍵詞： 氮化硅陶瓷加工 氮化鋁陶瓷加工 macor可加工微晶玻璃陶瓷
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近年來，隨著國(guó)家政策的調(diào)整，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速，產(chǎn)業(yè)規(guī)模快速增長(zhǎng)，半導(dǎo)體制造設(shè)備不斷向精密化、復(fù)雜化發(fā)展，對(duì)高精度陶瓷關(guān)鍵部件的技術(shù)要求越來越高。目前，中國(guó)有數(shù)百家半導(dǎo)體設(shè)計(jì)和制造商，但大部分半導(dǎo)體設(shè)備和關(guān)鍵精密部件依賴進(jìn)口，這極大地制約了國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。高精度陶瓷零件的價(jià)值占半導(dǎo)體設(shè)備的10%以上，全球市場(chǎng)約為100億美元，幾乎完全被美、日、韓等國(guó)外企業(yè)壟斷。中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)要實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量發(fā)展，就必須有自己的關(guān)鍵核心技術(shù)和產(chǎn)業(yè)資源支撐，開展半導(dǎo)體裝備用氧化鋁精密陶瓷產(chǎn)品的開發(fā)，其經(jīng)濟(jì)價(jià)值和戰(zhàn)略價(jià)值都非常重要。
此外，陶瓷機(jī)械臂在半導(dǎo)體器件中起搬運(yùn)作用，相當(dāng)于半導(dǎo)體器件的機(jī)械手，負(fù)責(zé)將晶圓硅片搬運(yùn)到指定位置。由于硅片極容易受到其他顆粒的污染，所以一般在真空環(huán)境中進(jìn)行。氧化鋁陶瓷和碳化硅陶瓷具有致密、高硬度、高耐磨性的物理性能，以及良好的耐熱性、優(yōu)異的機(jī)械強(qiáng)度，在高溫環(huán)境下仍具有良好的絕緣性、良好的耐腐蝕性等物理性能，是用來制造半導(dǎo)體設(shè)備機(jī)械臂的優(yōu)良材料。從材料性能來看，碳化硅陶瓷更適合制作陶瓷機(jī)械臂，但從材料價(jià)格、加工難度等經(jīng)濟(jì)方面來看，氧化鋁陶瓷機(jī)械臂更具性價(jià)比。
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