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氧化鋁陶瓷離子光學(xué)組件
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產(chǎn)品名稱

氧化鋁陶瓷離子光學(xué)組件

加工精度 0.01mm
是否定制 按圖定制
粗糙度 Ra0.8
材料成分 高純度氧化鋁
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采用99.9%高純氧化鋁陶瓷(Al?O?)制成的引出電極和聚焦透鏡,其介電強度>15kV/mm,可在30kV高壓下保持絕緣穩(wěn)定性。例如,在Varian 3100離子注入機(jī)中,氧化鋁陶瓷制成的離子束準(zhǔn)直器通過納米級表面拋光(Ra<0.1μm),將束流發(fā)散角控制在±0.5°以內(nèi),避免離子散射導(dǎo)致的注入劑量偏差。

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