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半導(dǎo)體設(shè)備零件氧化鋁支撐環(huán)
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產(chǎn)品名稱

半導(dǎo)體設(shè)備零件氧化鋁支撐環(huán)
加工精度 0.01mm
是否定制 可按圖紙定制
粗糙度 0.05μm
材料成分 氧化鋁
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    氧化鋁對準(zhǔn)環(huán)與支撐環(huán)是半導(dǎo)體刻蝕、沉積等制程中的關(guān)鍵精密部件，憑借材料本征優(yōu)勢，正在替代金屬與塑料結(jié)構(gòu)。其首要價值在于超高尺寸穩(wěn)定性：氧化鋁熱膨脹系數(shù)低，且硬度高，經(jīng)精密磨削后圓度可控制在微米級，確保晶圓在升降溫循環(huán)中始終維持精準(zhǔn)同心度，有效抑制邊緣偏差導(dǎo)致的良率損失。其次，氧化鋁具有優(yōu)異的電絕緣與等離子體耐蝕性，擊穿電壓達(dá)20 kV以上，對含氟、含氯高能等離子體表現(xiàn)出極佳的化學(xué)惰性，可在腔體中穩(wěn)定工作上千小時，顯著降低顆粒污染與金屬離子析出風(fēng)險。其熱導(dǎo)率約30-40 W/m·K，能迅速將工藝熱量均勻散開，避免局部熱斑導(dǎo)致的晶圓翹曲。此外，氧化鋁可通過注塑-燒結(jié)實現(xiàn)凈成形，后期僅需微量精加工，綜合成本較氮化硅低30%以上，為12英寸乃至更先進(jìn)制程的規(guī)模化應(yīng)用提供了經(jīng)濟(jì)可行的路徑。

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